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瑞士WYLER電子水平儀:Bluelevel在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用
點(diǎn)擊次數(shù):228 更新時(shí)間:2025-09-09 打印本頁面 返回

瑞士WYLER電子水平儀:Bluelevel在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用


瑞士WYLER電子水平儀:Bluelevel憑借其0.2角秒,0.001mm/m的高精度雙軸測量能力,成為半導(dǎo)體制造設(shè)備校準(zhǔn)的關(guān)鍵工具。在光刻、刻蝕、鍍膜等核心工藝中,該儀器通過以下方式提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品良率:

一、核心功能與優(yōu)勢

1. 雙軸同步測量

同時(shí)檢測X/Y軸傾斜,避免單軸測量導(dǎo)致的調(diào)整誤差,確保設(shè)備水平度在0.001°級(jí)精度內(nèi)。

測量分辨率達(dá)0.0002°,零點(diǎn)重復(fù)性±0.001°或更低,滿足半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)微小傾斜的嚴(yán)苛要求。

2. 實(shí)時(shí)數(shù)字反饋與遠(yuǎn)程監(jiān)控

通過WYLER電子水平儀內(nèi)置的顯示器可直接顯示角度值,支持μm/m或角度單位(°、°′″)切換。

數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)輸出至軟件,配合AI算法生成三維空間偏差分析報(bào)告,優(yōu)化調(diào)整流程。

3. 抗干擾設(shè)計(jì)與環(huán)境適應(yīng)性

采用電磁屏蔽和振動(dòng)補(bǔ)償算法,確保在半導(dǎo)體車間復(fù)雜電磁環(huán)境與機(jī)械振動(dòng)下的測量穩(wěn)定性。

工作溫度范圍-10°C至+50°C,適應(yīng)無塵車間恒溫控制需求。

二、在半導(dǎo)體制造中的具體應(yīng)用案例

1、光刻機(jī)校準(zhǔn)

晶圓臺(tái)調(diào)平:光刻機(jī)工作臺(tái)傾斜會(huì)導(dǎo)致焦平面偏移,影響曝光精度。WYLER電子水平儀或傾斜傳感器可快速檢測并調(diào)整至≤0.001°,確保EUV/DUV光刻的成像質(zhì)量。

光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn):用于調(diào)整反射鏡、透鏡組的角度,優(yōu)化光路準(zhǔn)直,減少像差,提升關(guān)鍵尺寸(CD)控制精度。

2、刻蝕設(shè)備調(diào)平

反應(yīng)腔室調(diào)平:確保等離子體均勻分布,避免刻蝕速率不均(如邊緣與中心差異),提升晶圓內(nèi)均勻性(WIU)。晶圓承載臺(tái)校準(zhǔn):雙軸同步測量優(yōu)化承載臺(tái)水平度,減少刻蝕偏差,降低缺陷率。

3、鍍膜設(shè)備安裝

真空腔室調(diào)平:高精度調(diào)平縮短設(shè)備安裝時(shí)間,提高鍍膜均勻性,滿足納米級(jí)薄膜工藝要求。

蒸發(fā)源角度校準(zhǔn):確保材料沉積厚度一致,減少薄膜應(yīng)力導(dǎo)致的晶圓彎曲。

4、后道工藝支持

CMP(化學(xué)機(jī)械拋光):拋光平臺(tái)水平度直接影響晶圓表面平坦度,WYLER傾斜傳感器zerotronic可實(shí)時(shí)監(jiān)測并調(diào)整,降低表面粗糙度(Ra)。

晶圓鍵合機(jī):在3D NAND等堆疊工藝中,確保鍵合界面對(duì)準(zhǔn)精度,減少層間錯(cuò)位。

三、技術(shù)升級(jí)與行業(yè)影響

1、智能化演進(jìn)

通過藍(lán)牙5.2模塊與專屬APP聯(lián)動(dòng),實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)同步與遠(yuǎn)程操控,減少人工干預(yù)。

觸覺反饋系統(tǒng)在檢測面傾斜超過預(yù)定時(shí)間通過手柄振動(dòng)警示,提升嘈雜環(huán)境下的操作效率。


3、行業(yè)認(rèn)可與案例

該型號(hào)已成功應(yīng)用于ASML光刻機(jī)等廠商在用,其高精度與可靠性在半導(dǎo)體行業(yè)得到廣泛驗(yàn)證。

四、未來展望

隨著半導(dǎo)體制造向更小節(jié)點(diǎn)(如2nm及以下)邁進(jìn),設(shè)備水平度要求將更加嚴(yán)苛。瑞士WYLER將不斷研發(fā),滿足更高的精度要求。


如您有相關(guān)檢測及測試要求,可隨時(shí)聯(lián)系。



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